半導(dǎo)體潔凈車間的使用注意點
半導(dǎo)體潔凈車間的使用注意點
有一些設(shè)備對使用環(huán)境沒有什么要求,所以使用起來也沒有那么多需要注意的地方,但是有一些設(shè)備對于使用環(huán)境是有要求的,所以對于使用環(huán)境的要求也是很高的,有相應(yīng)的一些設(shè)備會選擇在潔凈車間去進(jìn)行使用。接下來我們就來了解一下半導(dǎo)體潔凈車間的使用注意點。
1、半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn),因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境,這就需要用大型鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源輸入潔凈車間中。
2、為保持恒溫恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前面的鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機加壓多久,空調(diào)就得開多久。
3、所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主,因此潔凈車間室內(nèi)空間設(shè)計或機臺擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃等在潔凈車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至低的程度。
4、所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。
5、所有人或事物進(jìn)出潔凈車間,人要穿配套防塵服,人或事物都要經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。
6、半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一是防止水中粉粒污染晶圓,二是防止水中重金屬離子污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)的帶電載子信道,影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是比較好的溶劑與清潔劑,在半導(dǎo)體工業(yè)的使用量非常驚人。
7、半導(dǎo)體潔凈車間用到的氣源,包括吹干晶圓和機臺空壓所需要的,都需要使用98%氮氣,吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
想要讓半導(dǎo)體潔凈車間充分的發(fā)揮它的作用,平時在使用的時候要按照正確的方法去進(jìn)行使用,現(xiàn)在有很多地方或者行業(yè)都會考慮使用半導(dǎo)體潔凈車間,因為它比較干凈,而且使用起來很方便,所以大家都比較愿意使用那樣的產(chǎn)品。